Место происхождения:
Китай
Фирменное наименование:
KACISE
Сертификация:
CE
Номер модели:
KGD-MQ-536
KGD - MQ - 536 Инфракрасный датчик газа
Введение продукта
Инфракрасный газовый датчик KGD - MQ - 536 основан на недисперсивной инфракрасной технологии (NDIR). Он может точно измерять такие газы, как WF6, CF4, SF6, NF3,и CO2 в полупроводниковых приложенияхОн совместим с общими предварительно установленными габаритами, фланцами и протоколами связи внутри оборудования. Он может использоваться для обнаружения конечной точки в процессах осаждения и очистки полупроводников,а также обнаружение терминала для очистки камеры, что помогает сократить время очистки, сократить затраты и увеличить производство.
Характеристики продукта
Технические параметры
Параметр | Подробная информация |
Принцип обнаружения | NDIR |
Выявленные газы | WF6, CF4, SF6, NF3, CO2 |
Диапазон измерений | 1 - 264ppm (0 - 200mTorr) |
Повторяемость | ± 0,5% |
Линейность | ± 1% F.S. |
Предел обнаружения | 1 ppm |
Отправьте запрос непосредственно нам