Место происхождения:
Китай
Фирменное наименование:
KACISE
Сертификация:
CE
Номер модели:
KGD-MQ-537
Инфракрасный датчик газа KGD-MQ-537 использует недисперсионную инфракрасную технологию (NDIR) для точного измерения газов, включая SiF4, CF4, SF6, NF3 и CO2, в полупроводниковых приложениях. Этот датчик, разработанный с учетом стандартных размеров оборудования, фланцев и протоколов связи, идеально подходит для обнаружения конечных точек в процессах осаждения и очистки полупроводников, а также для обнаружения выводов при очистке камеры, что помогает сократить время очистки, сократить расходы и увеличить производство.
| Параметр | Подробности |
|---|---|
| Принцип обнаружения | НДИР |
| Обнаруженные газы | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
| Диапазон измерения | 1–264 ppm (0–200 мТорр) |
| Повторяемость | ±0,5% |
| Линейность | ±1% полной шкалы |
| Предел обнаружения | 1ppm |
Отправьте запрос непосредственно нам