Место происхождения:
Китай
Фирменное наименование:
KACISE
Сертификация:
CE
Номер модели:
KGD-MQ-537
Атрибут | Значение |
---|---|
Принцип обнаружения | NDIR |
Обнаруживаемые газы | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
Диапазон измерения | 1 - 264ppm (0 - 200mTorr) |
Повторяемость | ±0.5% |
Линейность | ±1%F.S. |
Предел обнаружения | 1ppm |
Инфракрасный газовый датчик KGD - MQ - 537 основан на технологии недисперсионного инфракрасного излучения (NDIR). Он может точно измерять газы, такие как SiF4, CF4, SF6, NF3 и CO2, образующиеся в полупроводниковых приложениях. Он совместим с распространенными предустановленными размерами, фланцами и протоколами связи в оборудовании. Его можно использовать для обнаружения конечных точек в процессах осаждения и очистки полупроводников, а также для конечного обнаружения при очистке камер, что помогает сократить время очистки, снизить затраты и увеличить производство.
Параметр | Детали |
---|---|
Принцип обнаружения | NDIR |
Обнаруживаемые газы | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
Диапазон измерения | 1 - 264ppm (0 - 200mTorr) |
Повторяемость | ±0.5% |
Линейность | ±1%F.S. |
Предел обнаружения | 1ppm |
Отправьте запрос непосредственно нам